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zeta-388支持3d量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用zdot™技術(shù)，可同時采集高分辨率3d數(shù)據(jù)和true color（真彩）無限遠焦點圖像。zeta-388具備multi-mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、低擁有成本，以及secs / gem通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。