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filmetrics® profilm3d®和filmetrics profilm3d-200光學(xué)輪廓儀采用白光干涉測量(wli)技術(shù)，是經(jīng)濟(jì)實(shí)用的非接觸式3d表面形貌測量系統(tǒng)。profilm3d系列可以測量從納米到毫米的表面特征，并生成

zeta-300支持3d量測和成像的功能，并提供整合隔離工作臺和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用zdot™技術(shù)，可同時采集高分辨率3d數(shù)據(jù)和true color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。zeta-300具備multi-mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

zeta-388支持3d量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用zdot™技術(shù)，可同時采集高分辨率3d數(shù)據(jù)和true color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。zeta-388具備multi-mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、低擁有成本，以及secs / gem通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。