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zeta-300支持3d量測(cè)和成像的功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用zdot™技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3d數(shù)據(jù)和true color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。zeta-300具備multi-mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

zeta-388支持3d量測(cè)和成像功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用zdot™技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3d數(shù)據(jù)和true color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。zeta-388具備multi-mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、低擁有成本，以及secs / gem通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。