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日本lasertec公司提供的eccs b310/b320型電化學(xué)反應(yīng)可視化共焦系統(tǒng)，可以實現(xiàn)充放電狀態(tài)下，鋰電池的電化學(xué)反應(yīng)進(jìn)程分布的觀察、定量化。本系統(tǒng)使用共焦顯微鏡技術(shù)，觀察充放電狀態(tài)的鋰電池內(nèi)部，活性物質(zhì)的膨脹、收縮、不均勻的反應(yīng)分布，樹枝晶、氣體產(chǎn)生能夠容易地可視化、定量化，原本需要花費(fèi)數(shù)周、數(shù)月的電池初期評價可以縮短數(shù)天

filmetrics® profilm3d®和filmetrics profilm3d-200光學(xué)輪廓儀采用白光干涉測量(wli)技術(shù)，是經(jīng)濟(jì)實用的非接觸式3d表面形貌測量系統(tǒng)。profilm3d系列可以測量從納米到毫米的表面特征，并生成

zeta-300支持3d量測和成像的功能，并提供整合隔離工作臺和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用zdot™技術(shù)，可同時采集高分辨率3d數(shù)據(jù)和true color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點圖像。zeta-300具備multi-mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

zeta-388支持3d量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用zdot™技術(shù)，可同時采集高分辨率3d數(shù)據(jù)和true color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點圖像。zeta-388具備multi-mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、低擁有成本，以及secs / gem通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。