批量晶圓處理等離子系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,其模塊化控制系統(tǒng)使用新一代處理器,基于 linux 平臺作為操作系統(tǒng),以及圖形用戶界面 (gui)。因此,可支持手動和全自動控制過程,并且通過 mfc 控制過程氣體。在此過程中,所有參數(shù)都被寫入程序并存儲在數(shù)據(jù)庫中。與此同時,當(dāng)?shù)膲毫χ、氣體流量值、輸出值等都顯示在顯示屏上,如果當(dāng)值偏離設(shè)定值,則會觸發(fā)相應(yīng)的警報。
更新時間:2024-08-13