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真空器皿產(chǎn)品及廠家

PI真空烘箱,真空無氧PI烤箱@2023價格已更新推薦
pi真空烘箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和mems器件的批量生產(chǎn)。主要用于pi固化,bcb固化,pbo固化,lcp纖維熱處理。
更新時間:2024-10-22
智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)@2023已更新報價推薦
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。
更新時間:2024-10-21

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