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外延片烘箱,氮氣潔凈烘箱
外延片烘箱,氮氣潔凈烘箱是將清洗后的外延片放入烘箱中,進行干燥處理,以去除清洗液中的水分。將所述外延片放入烘箱中,在120℃~140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10~30分鐘。
更新時間:2024-10-22
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