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HMDS烘箱在Micro-LED芯片的應(yīng)用(中國(guó)航天日)

2022/4/24 16:00:25提供者: 上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司 進(jìn)入該公司展臺(tái)
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 HMDS烘箱在Micro-LED芯片的應(yīng)用

    Micro-LED具有優(yōu)越的性能,應(yīng)用于微型顯示器、可見(jiàn)光通信、光學(xué)生物芯片、可穿戴設(shè)備和生物傳感器等域。目,Micro-LED顯示的技術(shù)挑戰(zhàn)是如何獲得高分辨率和高像素密度。像素尺寸縮小、芯片的周長(zhǎng)面積比增大,導(dǎo)致側(cè)壁的表面復(fù)合增多,非輻射復(fù)合速率變大,從而致使光電效率下降。器件制備過(guò)程中的ICP刻蝕,加重了側(cè)壁缺陷。另外,對(duì)于磷化Micro-LED,在較高的驅(qū)動(dòng)電流下,熱刺激LED的多量子阱有源區(qū)和電子阻擋層中的注入電子泄漏到LED結(jié)構(gòu)的P側(cè),導(dǎo)致效率下降,即efficiency droop現(xiàn)象。因此,LED的散熱性能對(duì)于磷化LED頗為重要。
    Micro LED應(yīng)用將從平板顯示擴(kuò)展到AR/VR/MR、空間顯示、柔性透明顯示、可穿戴/可植入光電器件、光通信/光互聯(lián)、醫(yī)療探測(cè)、智能車(chē)燈等諸多域。預(yù)計(jì)到2025年,基于Micro-LED技術(shù)的產(chǎn)品如高端電視機(jī)、手機(jī)、手表等將逐步上市,市場(chǎng)產(chǎn)值將超過(guò)28億美元。到2035年,我國(guó)將實(shí)現(xiàn)基于Micro-LED的超大規(guī)模集成發(fā)光單元的顯示模塊,并實(shí)現(xiàn)Micro-LED在照明、空間三維顯示、空間定位及信息通信高度集成系統(tǒng)。   

    中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室梁靜秋研究團(tuán)隊(duì)使用晶圓鍵合和襯底轉(zhuǎn)移技術(shù),制備五種像素尺寸(小尺寸為10μm)的硅襯底AlGaInP紅光Micro-LED以探究其尺寸效應(yīng)。研究采用低損傷刻蝕技術(shù)減小LED芯片側(cè)壁缺陷;采用散熱性能更好的硅襯底代替GaAs襯底,改善LED芯片的散熱性,且避免GaAs襯底對(duì)紅光的吸收。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,隨著尺寸的減小,Micro-LED芯片的外量子效率下降,但可承受的大電流密度增加,高注入電流下散熱性改善,且中心波長(zhǎng)隨注入電流的偏移減小。

在該文中所述的襯底疏水處理時(shí)HMDS烘箱預(yù)處理系統(tǒng)是必備的處理設(shè)備

智能型HMDS真空系統(tǒng)的用途:

   在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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標(biāo)簽:HMDS烘箱  

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